光電法光譜分析是把激發試樣所獲得的復合光通過入射狹縫在分光元件上，被射散成光譜，以光電轉換系統和測量系統進行光電轉換并測量譜線強度而求得試樣中各待測元素的含量。
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光電法光譜分析是一種原子發射光譜分析方法（AES），它是根據物質中不同原受激發后，產生不同的特征光譜來確定其化學組成的分析方法，可對約70種元素（包括金屬元素及磷、硅、碳等非金屬元素）進行定性、定量分析，廣泛應用于冶金、有色、機械、航空航天、兵器等行業材料分析中。其原理：一般情況下，原子處于最低能量狀態，稱為基態。當原子獲得足夠的能量后，就會使外層電子從低能級躍遷至高能級，這種狀態稱為激發態。原子外層電子處于激發態時是很不穩定的，當它從激發態回到基態時，就要以光的形式釋放出多余的能量，既得到發射光譜。不同元素原子的結構和有差異，能級間的能量差各不相同。當原子受激發時，就輻射出各元素所固有的特征光譜，光譜分析就是利用光譜儀檢查光譜圖中某波長特征譜線的有無，來判斷試樣中某些元素是否存在。離子光譜是離子被激發后而產生的光譜。由于離子和原子具有不同的能級，所以離子發射的光譜與原子發射的光譜不一樣。因此，在進行分析時應注意這一點，特別是易電離的元素。